XPS tarkoittaa:
suulakepuristettu polystreenilevy, rakennuseriste Open XML Paper Specification, OpenXPS, Microsoftin kehittämä XML-pohjainen sivunkuvauskieli Röntgenfotoelektronispektroskopia, tutkimusmenetelmä, jolla voidaan mitata aineen alkuainekoostumus, selvittää sen empiirinen kaava ja kemiallinen sekä elektroninen tila.